EUV pellicle은 노광 공정의 생산성 저하를 최소화하기 위해 높은 EUV 투과도를 만족해야 하므로 수십 nm 두께의 membrane 형태를 가집니다.
해당 membrane은 노광 공정 중 발생하는 물리적 거동과 EUV 광의 높은 광자 에너지에 의한 열적 하중을 견딤과 동시에 노광기 내부의 수소 라디칼 환경에 대한 내화학성 또한 요구됩니다.
이러한 조건을 만족하는 110 mm x 144 mm 크기의 EUV pellicle 을 개발하는 연구는 극악의 기술 난이도를 요구합니다. EUV IUCC에서는 박막 증착 및 습식 식각 장비와
국내 유일의 EUV pellicle 특성 평가 기술을(광학/열/기계) 보유하고 있으며, 이를 통해 EUV pellicle 제작 및 극박막의 기초 특성 평가 서비스를 제공하여
회원사의 EUV pellicle 연구를 지원합니다.

• 나노미터 스케일의 금속 및 금속화합물 박막 증착
• Si 습식 식각 공정을 통한 EUV pellicle 제작
• Bulge test를 통한 기계적 물성 평가: EUV pellicle 구조 별 파괴 압력, plane-strain modulus 및 ultimate tensile strength (UTS) 등 기계적 물성 평가
• Heat load test를 통한 열적 특성 평가: 노광기 내부 모사 환경에서 EUV pellicle 구조에 따른 열적 내구성 평가