What we offer

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EUV-IUCC에서는 EUV 기술 세미나부터 연구 개발 협력까지 회원사에 단계별로 다양한 종류의 혜택을 제공합니다.

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a)최신 기술 동향 리포트 및 연구 자료 데이터베이스 제공

b)연구 동향 세미나 및 워크샵을 통한 협업 네트워킹

c)회원사향 맞춤 전략 컨설팅 제공

d)개발 중 제품에 대한 시뮬레이션 서비스

e)해외 파트너 기관의 장비/시설 공유 예약 서비스 제공

f)회원사에 우선 특허 협상권을 보장

g)대학과의 공동 R&D 프로젝트 기회 제공

h)정부 R&D 프로젝트 참여 기회 제공

Membership Categories

Membership Categories
멤버십등급 VIP Diamond Gold Silver Bronze
추천 대상 연구개발 협력사 전략적 파트너 관련기술 개발 기업 관련사업 탐색 기업, 투자사 개인
연회비 (부가세 별도) 한도 없음 1천만원 500만원 300만원 100만원
장비 사용 50% 할인 20% 할인 실비청구 실비청구 -
시뮬레이션 서비스 Target Level Target Level Feasibility Study Introductory Level -
해외 평가시설 연계 서비스 대행 (현지 비용 청구) 대행 (현지 비용 청구) 대행 (현지 비용 청구) - -
최신 기술 동향 리포트 연 6회 연 6회 연 3회 연 3회 연 2회
센터 유료 세미나 할인 무료 무료 50% 할인 30% 할인 20% 할인
컨설팅 (1시간 기준) 제한 없음 5회 무료 3회 무료 2회 무료 -
회원사 워크샾 (연 2회) 10인 무료 5인 무료 3인 무료 2인 무료 1인 무료
공동개발 사업 산학 혹은 국가사업 산학 혹은 국가사업 산학과제 - -

※ 골드 회원은 산학 협력 관계를 유지하기 위한 최소한의 전제 조건으로 상호 필요에 따라 추가적인 산학 협력 프로젝트를 요청 가능합니다.
※ 정부 R&D 프로젝트 참여는 최소 다이아몬드 회원 이상만 가능합니다.

장비 사용료

장비 사용료
EUV actinic inspection tool
EUV actinic inspection tool

EUV actinic inspection tool

EUV pellicle evaluation
equipment
열적 특성 평가

열적 특성 평가

기계적 특성 평가

기계적 특성 평가

EUV pellicle fabrication
equipment
Full-size pellicle 열처리

Full-size pellicle 열처리

Si 습식 식각

Si 습식 식각

장비 /
제공 가능
서비스
Pellicle / Mask Patterned mask 열적 특성 평가 기계적 특성 평가 Full-size pellicle
열처리
Si 습식 식각
EUV 투과도 /
반사도 측정
EUV 투과도 /
반사도 균일도 측정
회절 효율 측정 위상 분석
(Phase shift mask)
이용료 1 point / 1 sample
150,000
5 point / 1 sample
500,000
1 point / 1 sample
150,000
1 point / 1 sample
300,000
1 hour
150,000
1hour
80,000
1 time
120,000
1 time
150,000

※ VIP 멤버와 Diamond 멤버는 각각 50%, 20%의 할인이 적용됩니다.

WORKSHOP

EUV-IUCC는 회원사를 위해 연간 2회의 워크샵을 개최합니다.

  • 최신 연구 동향에 대한 정보를 제공
  • 국내외 EUVL 컨퍼런스의 자료를 리뷰하고 공유하는 자리 제공
  • 해외 산학연 기관과의 글로벌 네트워크 구축 기회 제공
  • 센터 오픈 서버를 통해 연구에 필요한 데이터 및 정보 제공
  • EUV 관련 정보 외에도 반도체 시장 정보 및 동향, 정부 정책에 대한 다양한 정보를 제공
  • 신규 스타트업 회원사를 위한 최적의 파트너 매칭 서비스 제공

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